X射线荧光光谱仪是一种比较新型的无损、快速、便捷的并且可以对多元素进行快速同时测定的仪器。在被测物在X射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线。
X射线
X射线荧光光谱仪又可分为波长色散型X射线荧光光谱仪（WDXRF）和能量色散型X射线荧光光谱仪（EDXRF）。 事实上波长色散型X射线荧光光谱仪（WDXRF）和能量色散型X荧光光谱仪（EDXRF）。是从不同的角度来观察描述X射线所采用的两个物理量。
能量色散型X射线荧光光谱仪（EDXRF），用X射线管产生原级X射线照射到样品上，所产生的特征X射线这节进入Si-Li探测器，便可以据此进行定性分析和定量分析，第一台 能量色散型X荧光光谱仪是1969年问世的。近几年，由于商品 能量色散型X荧光光谱仪仪器及仪表计算机软件的发展，功能完善，应用领域拓宽，其特点，优越性日益受到认识，发展迅猛。波长色散型X射线荧光光谱仪（WDXRF）是用晶体分光而后由探测器接收经过衍射的特征X射线信号。如果分光晶体和探测器做同步运动，不断地改变衍射角，便可获得样品内各种元素所产生的特征X射线的波长及各个波长X射线的强度，可以据此进行特定分析和定量分析。
该种仪器产生于50年代，由于可以对复杂体进行多组同时测定，受到关注，特别在地质部门，先后配置了这种仪器，分析速度显著提高，起了重要作用。随着科学技术的进步在60年初发明了半导体探测仪器后，对X荧光进行能谱分析成为可能。